分析装置

Analyzer

Abstract

(57)【要約】 【目的】 分析点への位置決めを容易に行うことができ る分析装置を提供する。 【構成】 試料表面の分析を行う分析装置1において、 試料5の分析を行う分析手段2と、分析手段2と異なる 位置に設置されるとともに試料表面の光学的な像と該像 の試料ステージ4に対する位置座標を得る光学的観察手 段3と、少なくとも分析手段2と光学的観察手段3との 間において試料5の移動を行う試料ステージ4とを具備 させ、光学的観察手段3の像により定めた試料5の分析 点を、位置座標に基づいて分析手段側2に位置決めする 分析装置を構成する。
PURPOSE: To provide an analyzer capable of easily performing positioning to an analyzing point. CONSTITUTION: An analyzer 1 for analyzing a sample front surface is provided with an analyzing means 2 for analyzing a sample 5, an optical observing means 3 to be set in the position different from the analyzing means 2, and for obtaining an optical image on the sample front surface and the position coordinate of the image to a sample stage 4, and the sample stage 4 for moving the sample 5 between the analyzing means 2 and the optical observing means 3. The analyzing point of the sample 5, determined by the image by the optical observing means 3 is positioned on the analyzing means 2 side on the basis of the position coordinate.

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    JP-2006331852-ADecember 07, 2006Jeol Ltd, 日本電子株式会社表面観察分析装置
    JP-2008112596-AMay 15, 2008Hitachi High-Technologies Corp, 株式会社日立ハイテクノロジーズScanning electron microscope