Ceramic diaphragm structure and manufacture thereof



(57)【要約】 【目的】 ダイヤフラム部位における凹みやクラックな どの発生が無く、高い固有共振周波数を有すると共に、 強度に優れ、また、表面に形成される各種の膜の焼結に 際しても、それを阻害することの少ない、信頼性の高い 薄肉のセラミックダイヤフラム構造体およびそれを有利 に製造する方法を提供する。 【構成】 少なくとも一つの窓部を有するセラミック基 体と、前記窓部を覆蓋するように積層された、薄肉のセ ラミックダイヤフラム板とからなる一体焼成物であっ て、前記窓部において薄肉のダイヤフラム部を一体に形 成してなる構造体にして、該ダイヤフラム部を、前記窓 部とは反対方向となる外方に凸なる形状とした。また、 かかるダイヤフラム構造体を製造する際において、焼成 時に前記ダイヤフラム部を前記窓部とは反対方向となる 外方に凸なる形状に突出せしめた。
PURPOSE: To prevent the appearance of dents, cracks, etc., in a diaphragm member by forming a ceramic junction layer at an interface between a ceramic base and a thin ceramic diaphragm board. CONSTITUTION: A diaphragm structure 2 is constituted of a ceramic base 4 of a specified thickness which has a rectangular window 6 of a specific size and a thin diaphragm board 8 which covers the window 6 of the ceramic base 4. The diaphragm board 8 is integrally laid on one face of the ceramic base 4. In this structure, a diaphragm member 10 is so structured that it may be projecting outwards or it may be curved to the direction opposite to the window 6 side. Due to this structure, a characteristic resonance frequency is increased, strength to external force is improved, and a hindrance to sintering of a film to be formed on the external surface of the diaphragm member 10 is prevented, not to mention that the appearance of dents or cracks is prevented. Therefore, the use of the diaphragm structure 2 is remarkably expanded.




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